工業超純水(UPW)是電阻率達 18.2 MΩ·cm 的製程命脈。本文拆解超純水定義、ASTM D1193 水質標準、IER/RO/EDI/UF 四大核心技術與選型成本,半導體與製藥廠選系統必讀。
EDI 連續電除離子用電場自動再生樹脂,無酸鹼藥劑、無廢液、可連續產水;傳統混床需停機化學再生。本文比較 EDI 與混床的原理、成本、環保與適用情境。
製程廢水回收省下的水費 = 回收率 × 用水量 × 水價。本文說明半導體廢水回收的計算方式、IER+UF+RO 技術流程,以及對 ESG 與淨零碳排的效益。
RO 逆滲透膜不是看時間換,而是看性能訊號。本文整理產水量下降、脫鹽率衰退、壓差上升、SDI 超標等 5 大警訊,以及延長 RO 膜壽命的保養做法。